“董事長，浸沒原理雖然是我第一個公開提出來的，但BSEC的鄧院士和錢所長帶領BSEC光源研究所，在攻克光刻機光源波長193nm的世界性難題進行了近十年的潛心研究，在我之前就提出來以純凈水作為光源介質的研究新路徑，在國際光學和光刻機權威雜志上發表了數十篇有影響力的論文，通過實驗論證了浸沒原理的可行性，在浸沒原理方面的研究成果遠遠走在了我們和ASML的前面，我當時就預感，他們通過純凈水作為光...