“光源嗎……”王向中聞言，也是陷入了思索當中。

　　的確是如林堅博士說的那般，照明系統，也就是光源，才是真正制約光刻水平發展的關鍵因素，其它的事情都能想辦法取巧，無論是浸潤式光刻，亦或是衍射光柵，它都是基于現有光源條件下的改良法。

　　而高壓汞燈的365nm光波波長就決定了，它不可能制作出100nm以下制程的CPU，具有非常嚴重的時代局限性。

　　現在國際上最尖端的ArF光刻...